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第八十九章 启动制备硅单晶

四合院之从钳工做起灵枢道人123 2112字2023年02月23日 23:03

回到家里,李国成拿出两本关于半导体的书籍,又大致看了一遍。没有任何遗漏后,在脑海开始模拟制备晶圆的流程。

主要的流程为提拉硅单晶棒、切片和研磨。

提拉硅单晶棒需要一个不受污染的硅单晶炉。根据书上知道,目前常用的是惰性气体氩或氢气作为保护气体。前者目前不知道怎么制备,放弃;后者非常危险,放弃。

想到后世自己的企业里有一家子公司就是生产真空炉。当时自己非常好奇,亲自参观并听取汇报,并亲自操作,抽取真空到10的负5次幂。

这不就是非常适用的无污染空间吗?!真空炉里放入电加热的坩埚,不就是非常完美的硅单晶炉。

切片,可以采用后世常用的线切法。把单晶棒切成需要的薄片。

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