李国成把光刻胶涂抹在氧化后的晶圆上,用一个局部真空的吸盘固定住晶圆中心,提起来放入手心轻轻转动,利用离心力把光刻胶均匀地布满整个平面。
完成这一步操作后,李国成暗暗决定,实验完成一定要制造一个甩胶机。还用手转动甩胶,太LOW了。
但是在外人看来,李国成的每一个动作都是非常自信,驾轻就熟,隐有韵律。这可能就是长期修改的好处吧,不经意间就装了个大X。
由于涂抹的光刻胶太薄,静置十几分钟就会干透。
趁着这个空挡,李国成走到光刻机旁边,在底座托盘上放上一片同样规格的晶圆,再一次调整焦距到最佳状态,然后转动紫光部分移动手柄,模拟紫外光刻印一个一个晶圆方格,确定最佳走行距离和最为经